Выбор класса производственных помещений

За основу современных требований по классам чистоты чистых помещений и чистых зон берутся нормы, определенные в Федеральном стандарте США FS209E [4]. Подготовленный проект Российского стандарта гармонизован с этим стандартом США.

Критерий чистоты - это отсутствие или минимальное число частиц загрязнений, которые находясь на поверхности пластины могут вызывать либо дефекты в выращиваемых слоях, либо становиться причиной коротких замыканий соседних близко расположенных элементов ИС.

Таблица 1-Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений

Класс чистоты

Предельно допустимая счетная концентрация частиц N (шт/м3) размером равным и превышающим (мкм)

0,1

0,2

0,3

0,5

1,0

Класс 1 ISO

10

2

-

-

-

Класс 2 ISO

100

24

10

4

-

Класс 3 ISO

1000

237

102

35

8

Класс 4 ISO

10000

2370

1020

352

83

Класс 5 ISO

100000

23700

10200

3520

832

Класс 6 ISO

1000000

237000

102000

35200

8320

Класс 7 ISO

-

-

-

352000

83200

Класс 8 ISO

-

-

-

3520000

832000

Класс 9 ISO

-

-

-

35200000

8320000

Перейти на страницу: 1 2

Прочтите также:

Расчет радиоприемного устройства
В настоящее время приемники в связи с высокими требованиями к их характеристикам стояться по схеме супергетеродина т.к. это позволяет снизить изменение основных показателей радиотракта ...

Телекоммуникационные системы передачи
В настоящее время на сети электросвязи Российской Федерации (СЭ РФ) широко внедряются современные телекоммуникационные системы передачи с использованием "высоких технологий" ...

Разработка фотоприемного устройства ВОЛС
Цель проекта: провести разработку схемы и расчет основных параметров фотоприемного устройства ВОЛС в диапазоне скоростей передачи 1-10 Гбит/с, длина волны 1.55 мкм. Исходны ...

Основные разделы

2022 © Все права защищены! >> www.techeducator.ru