За основу современных требований по классам чистоты чистых помещений и чистых зон берутся нормы, определенные в Федеральном стандарте США FS209E [4]. Подготовленный проект Российского стандарта гармонизован с этим стандартом США.
Критерий чистоты - это отсутствие или минимальное число частиц загрязнений, которые находясь на поверхности пластины могут вызывать либо дефекты в выращиваемых слоях, либо становиться причиной коротких замыканий соседних близко расположенных элементов ИС.
Таблица 1-Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений
Класс чистоты |
Предельно допустимая счетная концентрация частиц N (шт/м3) размером равным и превышающим (мкм) | ||||
0,1 |
0,2 |
0,3 |
0,5 |
1,0 | |
Класс 1 ISO |
10 |
2 |
- |
- |
- |
Класс 2 ISO |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
Класс 3 ISO |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
Класс 4 ISO |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
Класс 5 ISO |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
Класс 6 ISO |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
Класс 7 ISO |
- |
- |
- |
352000 |
83200 |
Класс 8 ISO |
- |
- |
- |
3520000 |
832000 |
Класс 9 ISO |
- |
- |
- |
35200000 |
8320000 |
Универсальный, программируемый пульт дистанционного управления на PIC контроллере
Использование
микроэлектронных средств в изделиях производственного и культурно-бытового
назначения приводит не только к повышению технико-экономических показателей
изделия (стоимо ...
Система сбора и обработки информации
Бурное
развитие науки и промышленности, неудержимый рост объемов поступающей
информации привели к тому, что человек оказался не в состоянии воспринять и
перерабатывать все, ему предназн ...
Проектирование электрохромного индикаторного устройства
Внимательно
ознакомиться с описанием изобретения и уяснить принцип действия устройства или
устройства, реализующего способ.
Изложить
принцип действия устройства в пояснительной запис ...