Выбор класса производственных помещений

За основу современных требований по классам чистоты чистых помещений и чистых зон берутся нормы, определенные в Федеральном стандарте США FS209E [4]. Подготовленный проект Российского стандарта гармонизован с этим стандартом США.

Критерий чистоты - это отсутствие или минимальное число частиц загрязнений, которые находясь на поверхности пластины могут вызывать либо дефекты в выращиваемых слоях, либо становиться причиной коротких замыканий соседних близко расположенных элементов ИС.

Таблица 1-Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений

Класс чистоты

Предельно допустимая счетная концентрация частиц N (шт/м3) размером равным и превышающим (мкм)

0,1

0,2

0,3

0,5

1,0

Класс 1 ISO

10

2

-

-

-

Класс 2 ISO

100

24

10

4

-

Класс 3 ISO

1000

237

102

35

8

Класс 4 ISO

10000

2370

1020

352

83

Класс 5 ISO

100000

23700

10200

3520

832

Класс 6 ISO

1000000

237000

102000

35200

8320

Класс 7 ISO

-

-

-

352000

83200

Класс 8 ISO

-

-

-

3520000

832000

Класс 9 ISO

-

-

-

35200000

8320000

Перейти на страницу: 1 2

Прочтите также:

Универсальный, программируемый пульт дистанционного управления на PIC контроллере
Использование микроэлектронных средств в изделиях производственного и культурно-бытового назначения приводит не только к повышению технико-экономических показателей изделия (стоимо ...

Система сбора и обработки информации
Бурное развитие науки и промышленности, неудержимый рост объемов поступающей информации привели к тому, что человек оказался не в состоянии воспринять и перерабатывать все, ему предназн ...

Проектирование электрохромного индикаторного устройства
Внимательно ознакомиться с описанием изобретения и уяснить принцип действия устройства или устройства, реализующего способ. Изложить принцип действия устройства в пояснительной запис ...

Основные разделы

2021 © Все права защищены! >> www.techeducator.ru